先端半導体デバイスのDC電流測定が可能（超高精度針立て装置）

　　弊社　Wafer Integration株式会社は、2010年12月10日に設立されたベンチャー会社ですが、（独立行政法人）産業技術総合研究所が25年間研究開発してきた多探針SPM技術（特に、自己検知型AFM技術）をベースとした解析装置を製造販売する会社です。 （H23.2.7 「産総研技術移転ベンチャー」称号授与）

　弊社製品の自己検知型AFM方式のナノプローブ[DdProber：WI-3000]を使うことで、先端半導体プロセスで作られたデバイス等のコンタクト（プラグ）部分に針を立て、電気的特定を直接測定することが可能です。

　ご存じの様に、今までもSEMプローブ等でデバイス特性を測定しておりましたが、電子線損傷や残留炭素によるコンタクト抵抗の増加問題　そして　使い勝手の悪さの為、今後の微細化に対応できる新しいプローブが求められておりました。

　弊社の自己検知型AFM方式のプローブは、デスクトップタイプで、操作性も良く、専門の操作担当者が居なくとも、最先端デバイスのDC特性が簡単に短時間で測定できることを特徴にしています。　

　また、デバイスへの安定的な針立てには、試料の表面処理が重要なキ―技術となり、表面処理に関するKnowHowも　弊社から合わせてご提供することを考えております。

是非、一度　弊社にお問い合わせ頂き、御社のお悩みを弊社技術者にご相談ください。

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キャリア ｲﾝﾃｸﾞﾚｰｼｮﾝ株式会社は、産総研ベンチャーとして2011年12月10に発足しました。

　小径の半導体ｳｴﾊを8インチや12インチ等の半導体製造装置を改造せずに流す事ができるアダプター「シリコンキャリア」を製造・販売です。　ホームページはこちらから